企业等级: | 商盟会员 |
经营模式: | 生产加工 |
所在地区: | 江苏 苏州 |
联系卖家: | 石总 先生 |
手机号码: | 15172093950 |
公司官网: | www.szrunxi.com |
公司地址: | 苏州市相城区渭塘镇中汽零大厦15楼 |
一种半导体氧化设备,其配有:由室壁界定的可密封氧化室;设置于氧化室内,半导体氧化设备报价,并用来支撑半导体样品的基座;用于向所述氧化室供应对所述
半导体样品的特定部分进行氧化的水蒸汽的供应部分;监测窗,其设置于所述氧化室的室壁之一内,并且设置于能够面对支撑于所述基座上的所述半导体样品的位置处;监测部分,其设置于所述氧化室之外,并且能够经由所述监测窗面对支撑于所述基座上的半导体样品;以及调整所述基座和所述监测部分之间的距离的调整部分。
泛半导体工艺伴随许多种特殊制程,会使用到大量超高纯(ppt 级别)的干湿化学品,这是完成工艺成果的重要介质,半导体设备,其特点是昂贵并伴随排放。在集成电路领域,高纯工艺系统主要包括高纯特气系统、大宗气体系统、高纯化学品系统、研磨液供应及回收系统、前驱体工艺介质系统等。其中,各类高纯气体系统主要服务于几大干法工艺设备,各类高纯化学品主要服务于湿法工艺设备。
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