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江苏润玺环保设备有限公司

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江苏润玺环保设备有限公司
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半导体清洗设备供应商-半导体清洗设备-润玺

询盘留言|投诉|申领|删除 产品编号:579466835                    更新时间:2024-05-26
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一种半导体氧化设备,其配有:由室壁界定的可密封氧化室;设置于氧化室内,并用来支撑半导体样品的基座;用于向所述氧化室供应对所述

半导体样品的特定部分进行氧化的水蒸汽的供应部分;监测窗,半导体清洗设备,其设置于所述氧化室的室壁之一内,并且设置于能够面对支撑于所述基座上的所述半导体样品的位置处;监测部分,半导体清洗设备企业,其设置于所述氧化室之外,并且能够经由所述监测窗面对支撑于所述基座上的半导体样品;以及调整所述基座和所述监测部分之间的距离的调整部分。

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